图1:OCR检测系统用于半导体晶圆检测;也可以定制满足其他产品的检测需求。

中国台湾一家领先的半导体代工企业希望实现一种灵活、紧凑的OCR(光学字符识别)解决方案,用于读取晶圆上的代码。

为了采用能够准确跟踪晶圆的OCR系统,该代工厂选择中国台湾机器视觉集成商Leader Vision来开发解决方案。目前该解决方案正在Leader Vision的实验室进行评估。该系统在Leader Vision实验室完成测试后,还将在客户工厂进行现场测试,待一切合格后再部署到晶圆生产线中。

台湾地区的晶圆制造厂主导着半导体芯片的制造,拥有台积电(TSMC)、联电(UMC)、封测巨头日月光等大厂。据《华尔街日报》报道,中国台湾晶圆生产收入约占全球晶圆生产合同收入的65%。

在半导体代工厂的整个生产过程中,对每一片晶圆进行跟踪非常重要。这样,工程师可以准确地找出生产中的问题并及时纠正,或是分离出有问题的晶圆批次。

为了便于跟踪,晶圆上通常会标记字母和数字代码,这些代码由激光打标到晶圆每个面的指定区域。但是,由于晶圆表面的反射性、代码在制造过程中可能会退化等多种原因,会使得这些代码的辨识难度不断增加。因此,读取晶圆上的代码是一项极具挑战性的工作。

新系统的目标

在Leader Vision负责的这个项目中,新识别系统的目标是取代该晶圆厂现有的基于智能相机的晶圆代码读取方案,现有方案在灵活性方面不尽人意。

Leader Vision公司总经理Ming Jou Tsai表示,使用智能相机方案读取晶圆上的代码,其主要问题在于很难基于一些重要的修改进行定制,比如光学字符验证(OCV)、读取数据代码和条形码或是其他检测任务等需求。

在Leader Vision开发的这套新系统中,其所用相机的开发者Anson Lee(曾任JAI公司售前技术经理)表示,上面提到的这些类型的定制化修改,通常要求系统供应商对软件做全面改动,这需要耗费大量的时间成本。这对代工厂来说代价高昂,难以承受。

新系统所具有的灵活性对客户至关重要,因为该代工厂希望能够根据需要更改检测指标,以满足其高科技领域客户的特定检测要求。

同样重要的是,一套灵活的系统也能让代工厂随时调整,以满足晶圆本身的修改需求。Anson Lee表示,通常,晶圆的设计每年都会发生改变,因此半导体制造公司要努力与客户产品的变化需求保持同步。我们最常用的智能手机,就是这种不断演进的高科技产品的典型代表。

新系统中除了要增加灵活性外,该代工厂还希望OCR解决方案占地面积小,因为半导体制造过程是在洁净室环境中进行的,空间有限。此外,新系统还应该能与现有的制造工艺和现有系统轻松集成,这一点也非常重要。软件代码也将移交给代工厂,这样代工厂的工程师可以在未来根据需要,对系统进行调整或升级。

新型OCR系统的设计

为了满足系统对灵活性和紧凑性的需求,Leader Vision公司选择使用英伟达(NVIDIA)公司的Jetson Nano核心处理器和标准PC显示器来开发嵌入式OCR系统。在这套嵌入式系统中,可以将所有所需的接口和功能,都集成在一个比基于PLC的系统更小的设备中。

图2:OCR系统的目标,是半导体晶圆在整个制程中移动时,读取晶圆上的字母和数字代码。(图片来源:JAI)

Leader Vision公司使用QT C++开发OCR应用程序,QT C++是一个跨平台的开发环境,适用于开发台式、嵌入式和移动应用程序。Ming Jou Tsai表示,使用这个架构能加快OCR系统设计的速度,因为开发人员不必使用C++为X86 CPU编写代码再将代码移植到嵌入式处理器中来执行程序。Tsai指出:“一旦使用QT C++编写了源代码,它就可以立即部署。” 

Leader Vision开发的这套软件,还包括了与硬件之间的所有通信,如与工业相机和PC显示器之间的通信。该系统使用双绞线以太网电缆和GigE Vision接口。

为了克服识别晶圆上的代码所可能遇到的挑战,Leader Vision在字符识别的过程中融入了深度学习算法。Leader Vision选择使用MVTec的HALCON Deep OCR软件。Tsai介绍说:“使用HALCON Deep OCR软件,可以节省字符定位和分割的步骤,并且能进一步节省编程时间。此外,用户也能从其更好的可用性和更稳定的识别率中受益。”

Leader Vision还使用HALCON软件实现光源控制功能。在这个项目中,在照明方面并未遇到挑战。使用HALCON软件的另一个好处是:它可以用新的算法进行更新,以满足所读取晶圆上的代码大小或代码类型的变化。

除了NVIDIA平台和监视器外,该系统中还包括一台JAI公司的GOX-2402-PGE Bayer彩色面阵相机;该相机采用索尼IMX392全局快门CMOS图像传感器,并配有25mm C口镜头。照明光源为红色环形灯。

Leader Vision选择JAI的相机是因为看中了这款相机的功能。Tsai表示:“GOX-2402-PGE的分辨率非常适合我们的系统,它通过GigE Vision接口,能以高达50fps的帧率提供分辨率2.3MP的Bayer彩色图像输出。此外,这款相机的速度也令人满意,它能以每秒20-30个代码的平均速度识别代码。而且这款相机的高稳定性和工业级可靠性等因素,也为我们选择它提供了加分项。”

Anson Lee补充说:“Leader Vision创建的OCR系统,旨在满足代工厂未来随着需求变化更换相机的需求。代工厂基本上是可以重复使用整个系统的。”

这套OCR系统将安装在晶圆制造环节的各个重要位置,以便晶圆从制程的一个步骤移动到下一个步骤时,读取晶圆上的代码。

Anson Lee表示:“Leader Vision的系统足够灵活,集成商可以对其进行修改,然后将其销售给其他代工厂,甚至销售给其他行业的制造商。你可以想象把晶圆换掉,取而代之的是另一个带有识别码的物体。基本上,这套系统所做的工作就是跟踪代码,所以无论代码是什么,这套系统应该都能够对其进行跟踪。”

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