First Sensor 推出了一款用于检测倾斜度、加速度和振动的新型高精度 MEMS 惯性感应器。这款电容式传感器以单晶硅为基础，采用最新的微加工技术制作而成，具有超大信噪比和出色的温度稳定性。由于采用高深宽比微型结构 (HARMS)，该传感器具有超低的横轴灵敏度。 高度灵活的 AIM（气隙绝缘微型结构）专利技术最大程度减少了寄生电容，您能够根据具体应用需求，以较低的成本轻松定制所有加速计和倾斜计。

First Sensor 的双轴加速计拥有 5µg—2mg 的超高分辨率，可提供 ±0.5g—±75g 的测量范围。信号调节 ASIC 和 MEMS 电容感应元件共同封装于密封式外壳中，可安装到 PCB 电路板上。此外，还提供了各种评估板，使您可以轻松读取传感器读数。

新型惯性传感器的重要特性：

• 采用最新的 MEMS 微加工技术 (HARMS、AIM)
• 超大信噪比
• 出色的温度稳定性
• 可根据具体应用需求进行灵活定制

First Sensor 的新型高精度加速计和倾斜计通常用于：地质工程、状态监控、惯性导航系统以及机器人、校准和水准测量等工业用途。

关于 First Sensor

First Sensor 是一家面向医疗、工业、移动、电子工程和制造服务领域的领先传感器解决方案供应商。First Sensor 为照明、辐射、压力、流量、液位和加速度检测开发和制造适用于不同客户的高质量传感器解决方案。公司采用内部生产方式，生产范围覆盖从部件到系统的整条增值链。2012 年，First Sensor 的年销售额达到 1.12 亿欧元。 公司拥有 700 名员工，在全世界 14 个国家和地区设有分支机构。

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